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抵抗加熱蒸着装置 DH300シリーズ : パートナーはダックハウス ダックハウス : 真空蒸着装置

■DH300SD
DH300SD(G/M)は立上りの早い広帯域TMPを搭載させたφ300のベルジャ型高真空排気装置に蒸着源を組み込んで構成された汎用型の小型蒸着装置です。イニシャルのコストパフォーマンスに重点をおき、半導体や光学、電子部品など広範囲の用途において研究開発や準生産向けに拡張性を持たせたシステムとして構成しています。

標準仕様は抵抗加熱蒸着源タイプでSDGはガラスベルジャ、SDMはメタルベルジャ(いずれもマニュアルハンドリング)仕様となります。

1.高い拡張性を持ちながら低価格を実現
研究用、小規模生産用として基本的な機能を持つコンパクト設計の装置です。スリムな機能選択により徹底したコストダウンをおこない、低価格化を実現しています。

2.拡張性に優れた設計
φ300のフィードスルカラに7個のφ70CFサービスポートがあり、ガス導入や膜厚計の設置、また基板加熱の用力導入端子などを必要に応じて組み合わせ、追加することが可能で、目的に最適なシステムを構築することができます。

3.容易な操作性
真空排気の自動化、前面パネルスイッチによる抵抗加熱・バルブ操作で作業は簡単に行えます。

4.小型で優れた可搬性
コンパクトな架台にキャスタ・アジャスタを有しますので、移動・固定が簡単に行えます。

5.信頼の高い安全性
保護機能の充実した信頼性の高い機器を使用していますので、機械の破損、リーク等による機器のトラブルを未然に防止するインターロック機能が万全。初心者にも優しい設計です。

抵抗加熱蒸着装置 DH300SD


■DH300HD
DH300HD(G/M)は低騒音タイプの磁気浮上型TMPを搭載したハイグレードタイプで、メインのアングルバルブと粗引きラインを配置することによりTMPの汚染を防止するとともに、ポンプを停止することなく試料交換を行うことが可能です。さらに蒸着モニタを標準装備していますので、より精度の高い膜厚制御や自動成膜を行うことも可能となります。拡張性、操作性、安全性はSDタイプ同様に充実しています。

抵抗加熱蒸着装置 DH300HD

DH300HDM 抵抗加熱2元蒸着装置

仕様の追加については別表の主要オプションのほかに、基板加熱・駆動やガス導入などご希望の機能・構成についてもお気軽にご相談下さい。
お問い合わせ : パートナーはダックハウス
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蒸着装置標準仕様一覧表 : パートナーはダックハウス ダックハウス : 真空蒸着装置

型式 DH300SDG/M DH300HDG/M
排気特性 到達圧力 2x10-4Pa以下 7x10-4Pa以下
排気特性 10-4Pa以下まで粗引き開始後30分以内
真空室 外形寸法 DG:φ300x362H(パイレックスガラスベルジャ)
DM:φ300x377 (SUS304メタルベルジャ)   
蒸着源チャンバ SUS304フィードスルー(CF70ポート7ヶ所)
φ250基板ホルダ(ブランク)付
排気系 メインポンプ TMP TMU261(210L/S) TMP TMU200(180L/S)
(磁気浮上型)
粗引きポンプ RP T2010SD
(160L/min.)
(直列排気ライン)
RP T2010SD
(160L/min.)
(粗引き配管、L型バルブ付)
真空計 高真空側 M-431HGワイドレンジ電離真空計
(ミニチュアBAゲージ)
粗引き側 M-012DMサーモカップル真空計
(サーモカップルゲージ)
蒸着源仕様 抵抗加熱源2元式(Wボート2対)
成膜モニタ 膜厚計 XTM/2 膜厚モニタ
(スタンダードヘッド付)
操作   RP-TMP直列のため、毎回立上げ(自動排気)、手動リーク
/蒸着手動
メインアングルバルブによりチャンバのみ大気開放可能、排気は粗引き・本引き自動排気、自動リーク
/成膜は蒸着モニタの設定により自動も可能
設置 電力 AC200V3P 50A
冷却水 10L/min.(膜厚計)
圧縮空気 0.5〜0.7MPa
(ソースシャッタ)
0.5〜0.7MPa
(ソースシャッタ、リークバルブ)
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主要オプション仕様一覧表 : パートナーはダックハウス ダックハウス : 真空蒸着装置

項目 対応機種
1) 蒸着源 E型電子銃仕様(2kW単発3連) SD/HD
2) 蒸着モニタ SD
3) 粗引き用ドライポンプ SD/HD
4) メタルベルジャ昇降機構(空圧シリンダ駆動) SD/HD
5) TMP磁気浮上仕様(静音型) SD
6) メインアングルバルブ・粗引き配管追加 SD

冷却パイプ、ベーキングヒータ、基板加熱ヒータ、その他、ご希望により仕様変更、追加のご相談に応じます。
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