真空室 |
外形寸法 |
DG:φ300x362H(パイレックスガラスベルジャ)
DM:φ300x377 (SUS304メタルベルジャ) |
蒸着源チャンバ |
SUS304フィードスルー(CF70ポート7ヶ所)
φ250基板ホルダ(ブランク)付 |
排気系 |
メインポンプ |
TMP TMU261(210L/S) |
TMP TMU200(180L/S)
(磁気浮上型) |
粗引きポンプ |
RP T2010SD
(160L/min.)
(直列排気ライン) |
RP T2010SD
(160L/min.)
(粗引き配管、L型バルブ付) |
真空計 |
高真空側 |
M-431HGワイドレンジ電離真空計
(ミニチュアBAゲージ) |
粗引き側 |
M-012DMサーモカップル真空計
(サーモカップルゲージ) |
操作 |
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RP-TMP直列のため、毎回立上げ(自動排気)、手動リーク
/蒸着手動 |
メインアングルバルブによりチャンバのみ大気開放可能、排気は粗引き・本引き自動排気、自動リーク
/成膜は蒸着モニタの設定により自動も可能 |
圧縮空気 |
0.5〜0.7MPa
(ソースシャッタ) |
0.5〜0.7MPa
(ソースシャッタ、リークバルブ) |