ダックハウス:真空部品、加熱部品の設計・製作・販売、HP製作、メールアドレス転送サービス

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スパッタリング装置 : パートナーはダックハウス ダックハウス : スパッタリング装置
【概要】 SPT-DH350は、小型ながらカソードを2基搭載し、真空排気系にターボ分子ポンプを採用して成膜効率を向上させた多目的の簡易スパッタリング装置です。
小型で拡張性にも優れているので、大学や研究機関等の幅広い分野に最適なスパッタ装置です。
【特徴】

高機能で低価格を実現
大学や研究機関向けに開発した装置で、コストパフォーマンスを重視。低価格で高機能を目指しています。

ターボ分子ポンプを使用した真空排気系
排気系にターボ分子ポンプを採用。
装置の立上げ時間の短縮と、クリーンな雰囲気での薄膜作成が可能。

拡張性に優れた豊富なオプション
種々のオプション仕様に対応。納入後の追加・改造も可。
 1、基板回転機構
 2、基板加熱機構
 3、基板冷却機構
 4、逆スパッタシステム
 5、クライオポンプ・油拡散ポンプ他の使用
 6、ロードロック室増設
 7、ガス導入系の増設

信頼の高い安全性
機械の破損、人身事故等のトラブルを未然に防止するため、操作上のインターロックを考えた安全設計です。



【装置仕様】
排気特性 到達圧力 5×10-5 Pa以下
排気特性 10-5 Pa以下 粗引開始後40分以内
基本仕様 成膜チャンバ 円筒縦型 φ350 (電解研磨)
ポート VG350 ; VG100 ; ICF114 ; ICF70
真空計 高真空用:電離真空計
荒引き用:サーモカップル真空計
基板寸法
φ50mm
ターゲット寸法 φ76.2mm
基板ホルダ 手動式2基搭載 (Oリングシール)
RF電源 最大出力300W (2点切替式手動マッチングボックス付属)
ガス導入系 MFC 1系統 (Arガス)
排気系 メインポンプ TG-350VA
粗引きポンプ T2015SD (300L/min) RP
操作   排気自動 / 成膜手動
設置 電力 AC220X 3φ 30A (装置用)
AC100X 1φ 30A (制御系用)
冷却水 10L / min
圧縮空気 2kg / cu
オプション 基板関係 基板回転機構、基板加熱機構、基板冷却機構
システム増設 逆スパッタシステム、ロードロック室、ガス導入系増設
真空ポンプ クライオポンプ、油拡散ポンプ、ドライポンプ他
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