高機能で低価格を実現
大学や研究機関向けに開発した装置で、コストパフォーマンスを重視。低価格で高機能を目指しています。
ターボ分子ポンプを使用した真空排気系
排気系にターボ分子ポンプを採用。
装置の立上げ時間の短縮と、クリーンな雰囲気での薄膜作成が可能。
拡張性に優れた豊富なオプション
種々のオプション仕様に対応。納入後の追加・改造も可。
1、基板回転機構
2、基板加熱機構
3、基板冷却機構
4、逆スパッタシステム
5、クライオポンプ・油拡散ポンプ他の使用
6、ロードロック室増設
7、ガス導入系の増設
信頼の高い安全性
機械の破損、人身事故等のトラブルを未然に防止するため、操作上のインターロックを考えた安全設計です。
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